Halbleitertechnologie

Die Lehrveranstaltung Halbleitertechnologie ist eine Pflichtveranstaltung im 4. Semester des Bachelorstudiengang für die Vertiefungsrichtung Mikrotechnik.

Das Modul gibt eine Einführung in die Fertigungsprozesse der Mikroelektronik.

Creditpoints: 5

Termin: Sommersemester

Prüfung: Klausur

Das Modul besteht aus einem Vorlesungsteil und einem Praktikum.

Das Praktikum ist Voraussetzung für die Zulassung zur Klausur.#

Weitere Unterlagen zum Fach Halbleitertechnoologie finden Sie als autorisierter Student unter Moodle.

Lernziele:

Vermittelung der Grundkenntnisse der Herstellungsprozesse der Halbleitertechnologie

Überblick über einen Gesamtprozeß am Beispiel von CMOS

Einführung in die praktischen Aspekte von Halbleiter-Herstellungsschritten in einer Reinraumumgebung (Praktikum)

Inhalte:

Werkstoffe der Halbleitertechnik (Silizium)

Lithographie

Dünnschichttechnik (PVD, CVD, Epitaxie; Oxidation von Silizium)

Ätztechnik

Dotierverfahren

CMOS-Prozeß

Reinraumtechnik

Ausbeute; Qualitätssicherung

Aufbau- und Verbindungstechnik

Gehäusetechnik

Literatur:

Vorlesungsskript

D.Widmann, H.Mader, H.Friedrich, Technologie hochintegrierter Schaltungen, Springer 1996

B.Hoppe, Mikroelektronik, Bd. 1 und 2, Vogel Fachbuch, 1997/1998

S.M.Sze, VLSI Technology, Mc Graw Hill1988

Voraussetzungen:

Physik1 und Physik2, Chemie, Werkstofftechnik