Mikrosystemtechnik

 

Die Mikrosystemtechnik ist ein Wissenschaftsgebiet mit unglaublich starker Entwicklung in den vergangenen Jahren und beschäftigt sich mit der Entwicklung, Produktion und Anwendung miniaturisierter Systeme. Anwendungsgebiete finden sich in vielen Bereichen, wie der Umweltanalytik, Medizintechnik, Biotechnologie, Optoelektronik, Automobiltechnik und Kommunikationstechnik. Kaum eine technische Innovation kommt heute noch ohne Mikrosystemtechnologie aus. Dabei werden auf kleinster Fläche unterschiedlichste Materialien, Technologien und Funktionen vereint. 

Miniaturisierte Systeme bilden die Basis für Neuentwicklungen. Die Arbeitsgruppe Mikrosystemtechnik forscht an vielen spannenden Projekten unteranderem international zusammen. Besondere Expertise liegt in der Herstellung mikrofluidischer sowie mikroelektrischer Strukturen. Durch eigene Labore und den Reinraum gibt es eine breite Auswahl an Fertigungsmöglichkeiten im kleinsten Mikrometerbereich. Neben verschiedensten Herstellungsverfahren wird besonders häufig wird das ESCARGOT-Verfahren eingesetzt.

 

Reinraumbereich

 • Dünnschichtlabor Herstellung dünner Schichten mittels
   PVD und CVD

 • Lithographielabor Strukturierung/Vermessung von Mikrosysteme

 

Graubereich

 • Backend-Labor Labor für Werkstoffe, Messtechnik, Aufbau- und
   Verbindungstechnik

 • Chemielabor Labor für chemische Prozesse in der
   Mikrosystemtechnik

 

Optiklabor 

• Labor mit Rasterelektronenmikroskop, Nanofokus
  Konfokalmikroskop und diversen Lichtmikroskopen

 

Batterielabor

  • Labor zum Aufbau und Testen von Batteriezellen und Elektroden