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Versuch 6: Interferometrische Längenmessung
Möchte man Längen- und Abstandsmessungen im Mikro- oder Nanometerbereich durchführen, kommen meist nur optische Messverfahren zum Einsatz. Ein klassischer optischer Aufbau ist das "Michelson-Interferometer", das in diesem Fall für eine inkrementelle Längenmessung benutzt wird.
Zunächst bauen die Studierenden ein Michelson-Interferometer mit einem HeNe-Laser als Lichtquelle auf. Ziel ist es, zunächst ein Interferenzmuster auf dem Schirm zu erzeugen. In einem zweiten Schritt werden die optischen Signale mit Hilfe von Detektoren in elektrische Signale umgewandelt. Nach einer weiteren Signalverarbeitung kann dann ein Verfahrweg mit einer Auflösung im Bereich der halben Wellenlänge des Lasers (ca. 316 nm) gemessen werden. Dieser Versuch ist ein ideales Beispiel für ein Messsystem, in dem Wissen aus mehreren technischen Bereichen (Mechanik, Optik und Elekronik) gefragt ist.
