Prof. Dr. Michael Schlüter

Mikrosystemtechnik / Reinraum

Zur Person

Fachbereich Elektrotechnik und angewandte Naturwissenschaften (FB 2)

Informationen zur Person

Physikstudium Ruhr-Universität Bochum (Abschluss Dipl.-Phys.):    

Experimentelle Kern- und Teilchenphysik

Vakuumphysik / Tieftemperaturphysik (Aufbau eines Kryostaten)

Wissenschaftlicher Mitarbeiter Fachhochschule Gelsenkirchen, Fachbereich Physikalische Technik (Mikro- und Medizintechnik)

Entwicklung von Mikrosystemen / Mikrofluidik 

Promotion an der RWTH Aachen zum Dr.-Ing.      

„Mikrofluidische Strukturen für Biochemische Analysen“

 

Herzinfarktdiagnose auf einem LabChip

 

Elliptec Resonant Actuator AG in Dortmund (zuletzt Vorstand)

Entwicklung von Piezoantrieben

Entwicklung von Mikromechatronischen Positioniersystemen

 

Jade Hochschule in Wilhelmshaven (Professor für Mikro- und Medizintechnik)

Mikrotechnik und Medizintechnik

 

Medizintechnische Geräte

 

HRW Mülheim (Institutsleiter Naturwissenschaften, Gründungsdekan)

 

Hochschulaufbau

 

Forschung im Bereich Mikrofluidik und Piezoantriebstechnik

 

Westfälische Hochschule (Professor Mikrosystemtechnik)

Mikrosystemtechnik, Mikrofluidik, Lab on a Chip 

Forschung im Bereich Mikrofluidik

Lehre

Lehrgebiet

Mikrosystemtechnik

Forschung

Fachgebiet

Mikrosystemtechnik und Mikrofluidik

Haupt- und Unterschlagworte

Mechatronikmechatronische Präzisionspositioniersysteme, Piezoantriebssysteme, mehrachsige Mikropositioniersysteme, Mikrosensorik und -aktorik, Serienentwicklung mechatronischer SystemeMedizintechnikmedizinische Diagnostik, Immunoassay, Zytrometrie, DNA-Analyse (PCR)MikrotechnikMikrofluidik, Lab on a Chip, fotolithografische Verfahren, Mikrostrukturen in Kunststoff, mechanische MikrostrukturierungOberflächentechnologienDünnfilmtechniken, Schichterzeugung (CVD / PVD), Schichtstrukturierung, Schichtvermessung / -charakterisierung, OberflächenmodifikationPhysikphysikalische Technik, Strömungsphysik, physikalische Strukturierungsverfahren

F&E kurzgefasst

  • Mikrosystemtechnik
  • Medizinische Mikrotechnik
  • Mikrofluidik
  • mechatronische Systeme
  • resonante Systeme
  • Piezoantriebe