Prof. Dr. rer.nat. Uwe Paschen

ET

Zur Person

Fachbereich Elektrotechnik und angewandte Naturwissenschaften (FB 2)

Lehre

Lehrgebiet

Physik sowie Werkstoffe der Elektrotechnik

Forschung

Fachgebiet

Mikrosystemtechnik

Haupt- und Unterschlagworte

MikrotechnikHalbleitertechnologien, elektronische Bauelemente, M(O)EMSModellierung und SimulationPhysikalische ModellierungNanotechnologieSchichten für Elektronik- und Sensor-AnwendungenPhysikPhysikalische Modellierung