Prof. Dr. Hans-Joachim Lilienhof

Prüfungausschutzvorsitzender Angewandte Naturwissenschaften PT

Zur Person

Institute

Westfälisches Energieinstitut
Fachbereich Elektrotechnik und angewandte Naturwissenschaften (FB 2)

Lehre

Lehrgebiet

Werkstofftechnik und Chemie, insbesondere Mikrotechnik

Forschung

Fachgebiet

Mikrosystemtechnik

Haupt- und Unterschlagworte

MesstechnikSensorentwicklungMikrotechnikMikrofluidikOberflächentechnologienSensorentwicklung

Institute

Westfälisches Energieinstitut

F&E kurzgefasst

Mikrosystemtechnik

Sensortechnik

Sensorentwicklung mit den Verfahren der Halbleitertechnik

Plasmatechnologie nur in der Anwendung

Mikrofluidik


Einrichtungen für die Forschung

Labor Mikrosystemtechnik