Achtung!

Ab sofort (Nov. 2012) werden aktuelle Inhalte nur noch unter Moodle veröffentlicht. Diese Seiten hier werden bald ausgelichtet, so dass hier Dokumente zu den konkreten Lehrveranstaltungen nicht  mehr zu finden sind.

D.h. Skript und Praktikumdetails und weitere Infos gibt es nur noch unter Moodle.

Die Veranstaltung MST beginnt am Mittwoch 14. November 2012 8.00h. Bitte erscheinen Sie vollzählig. Spätestens in der zweiten Veranstaltung wird auch über das Praktikum gesprochen.

Die Lehrveranstaltung Mikrosystemtechnik ist eine Pflichtveranstaltung im 5./6. Semester des Bachelorstudiengangs für die Vertiefungsrichtung Mikrotechnik. Das Modul gibt eine Überblick über in die Fertigungsprozesse der Mikrosystemtechnik, jeweils mit einem Produktbeispiel bei dem diese Technologie genutzt wird.

Creditpoints: 5

Termin: 2. Hälfte Wintersemester bzw. Sommersemester

Prüfung: Klausur

Das Modul besteht aus einem Vorlesungsteil und einem Praktikum. 

Das Praktikum ist Voraussetzung für die Zulassung zur Klausur.

Link zum Inhaltsverzeichnis / Link zur Vorlesung Mikrosystemtechnik

Der Ablauf des Praktikums Mikrosystemtechnik wird in der ersten Vorlesungsstunde besprochen. Bitte erscheinen Sie vollständig.

Link zum Praktikum Mikrosystemtechnik

Lernziele:

• Vermittelung der Grundlkenntnisse der Fertigungsprozesse der Mikrosystemtechnik
• Anwendung dieser Prozesse anhand eines konkreten Produktbeispiels; Marktüberblick
• Praktische Durchführung von derartigen Prozessen (Praktikum)

Inhalte:

Isotrope und Anisotrope Ätzverfahren

Oberflächenmikromechanik

Trockentiefätzen

Dicke Fotoresists und Galvanik

Röntgen(tiefen)lithografie

Replikationsverfahren

Lasermikrobearbeitung

Mechanische Mikrobearbeitung

Aufbau- und Verbindungstechnik

Der Markt der Mikrosystemtechnik

Literatur:

Vorlesungsskript

Norbert Schwesinger, Carolin Dehne, Frederic Adler, Lehrbuch Mikrosystemtechnik, Oldenbourg Wissenschaftsverlag 2008

Wolfram Dötzel Gerald Gerlach, Einführung in die Mikrosystemtechnik, Carl Hanser Verlag 2006

Wolfgang Menz, Jürgen Mohr,Oliver Paul, Mikrosystemtechnik für Ingenieure, Wiley-VCH 2005

Voraussetzungen:

Halbleitertechnik, , Physik1 und Physik2, Chemie, Werkstofftechnik